碳化硅
典型加工零件
设备亮点
典型加工零件
蓝宝石
陶瓷
主要特点
1、磨轮采用12寸国家标准金刚石专用砂轮，磨轮的粒度的选型是根据客户对工艺的要求定制;减薄单元采用轴向进给(In-Feed)磨削原理，兼容中300~50mm晶圆研削减薄加工。
2、设备具有多段磨削程序、超负载等待等功能，满足各类工艺需求。
3、磨轮主轴采用高精密气浮专用电主轴，通过变频器受数控系统控制进行调速，可以根据不同产品决定工艺转速。
4、为了实现高精度、高品质的加工，搭载了高刚性、低振动、低热膨胀的气浮主轴。工作台的主轴亦同样搭载高刚性、低振动、低热膨胀的空气轴承部件。
5、采用高精密丝杆及导轨组件，驱动方式是伺服全闭环控制系统驱动。
主要技术参数
| 项目 | YHMG7430 | |
| 加工工件 | 加工工件尺寸范围（mm） | Φ50~Φ300 |
| 加工工件厚度范围（mm） | 0.15~50 | |
| 轴参数 | Z轴有效行程（mm） | 100（具有原点机能） |
| Z轴最小运动分辨率（ mm） | 0.0001 | |
| Z轴快进速度(mm/s) | 10 | |
| Z轴磨削进给速率（ μm/s） | 0.1～80 | |
| 磨头参数 | 磨头转速（Rpm） | 50~2000无级调速 |
| 砂轮直径（mm） | φ313（12寸） | |
| 砂轮主轴功率 | 11Kw | |
| 整机 | 主机总功率（Kw） | 25Kw |
| 主机重量(Kg) | 3500 | |
| 主机尺寸(mm) | 1850×1500×2200 | |
技术参数
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